Власти направят в 2023–2025 годы более 100 млрд рублей на проведение опытно-конструкторских работ по разработке оборудования для производства микро-, СВЧ-, силовой и оптоэлектроники. Об этом сообщили в Минпромторге.
В рамках форума «Микроэлектроника 2023» глава Международного научно-технологического центра МИЭТ Олег Нефедов сообщил, что по итогам опытно-конструкторских работ власти рассчитывают к 2027 году получить практически полный набор оборудования для производства микроэлектроники.
Речь идёт о фотолитографах, установках ионной имплантации, кластерах плазмохимического травления, установках для выращивания кремния и других приборах. В частности, первая отечественная фотолитографическая установка с нормой 350 нм должна появиться в 2024 году.
Проект сталкивается с рядом проблем. Компетенции для реализации работ имеют только предприятия, которые относятся к малому и среднему бизнесу — а потому не могут исполнять условия субсидий по 50% софинансирования работ. У крупных предприятий нет ни сотрудников, ни учёных. По словам замзавкафедры микро- и наноэлектроники МФТИ Евгения Горнева, недавно он помогал одному из предприятий найти профильных специалистов: «Их в России оказалось буквально четыре-пять человек. Всем или под 80, или за 80 лет».